一台成熟的X光检测设备，主要由X射线管、X光探测器、辅助运动机构以及防护设备、软件这几大部分组成。其中，X射线管是X光检测设备的心脏，对于各种X射线检查装置，X射线管是其中最重要的部分。目前，X射线管可分为两类：开管和闭管，即开放式射线源和封闭式射线源。两种管之间的特征比较如表所示。
类型
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功能 |
开管 |
闭管 |
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分辨率 |
≤1μm |
≥1μm |
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管电压 |
≥160KV |
＜160KV |
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放大倍率 |
高 |
低 |
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灯丝寿命 |
300-800小时 |
大约10,000小时 |
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系统维护成本 |
灯丝/设备维护;需要专业真空泵抽真空。 |
不需要 |
在选择X射线管的类型时，必须考虑一些因素：
1、X射线管类型：开管或闭管。此类型与检查设备的分辨率和寿命相关。分辨率越高，用户看到的细节就越复杂。如果检查的目标是大规模的，那么当您选择分辨率相对较低的设备时无关紧要。但是，就BGA和CSP而言，需要2μm或更小的分辨率。
2、目标类型：穿透或反射。目标类型在影响样品与X射线管焦点之间的距离方面起作用，最终影响检测设备的放大时间。
3、X射线电压和功率。 X射线管的穿透能力与电压成正比。当电压较大时，可以检查具有较高密度和厚度的物体。当被检查的目标是单面板时，可以选择具有低电压的器件。然而，当被检查的目标是多层板时，需要高电压。对于一定的电压，图像清晰度与X射线管功率成正比。
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